用于成膜后的退火结晶工艺，设备由进出料传送段、机械手取放料装置、炉体、预热区、高温区、冷却区、取放片装置、进排气装置、传动组件、电控系统等组成。每层加热、冷却时间独立可调；

炉体内部的洁净度可达百级，炉内采用模组机械手X、Y、Z搬送，传送滚轮采用UPE防静电材料制作，不刮伤产品底面；

搭载智能控制软件系统，温控精度高，动作快速精准、升温速率可控、基板表面温度均匀、溶剂挥发充分。