闪蒸炉
VCD闪蒸炉

钙钛矿溶液涂布后快速抽真空,蒸发一部分溶剂,使其快速成膜,然后经退火工序进一步优化结晶过程

选件:
工业计算机触摸屏质量流量计真空闪蒸涂布成膜
产品特点

钙钛矿闪蒸炉是通过高压高温液体在压力骤降时,因温度高于新压力下的沸点而部分瞬间汽化的过程。该过程利用物质沸点随压力降低的特性,液体进入低压环境后迅速蒸发并吸收汽化潜热,溶液减压后汽化达到涂布后快速抽真空的效果。

产品详情
系列 基板尺寸 基板厚度 抽气速率 温区长度 基板载台温度 气氛
HVT 2400mm×1200mm 1.6-3.2mm 10秒内抽至10Pa 3000mm 20-150℃ Air/真空
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